第226章 合城万千工程师的深夜灯火

  “打电话。老张也是个夜猫子，这会儿肯定还在实验室。”王振华挥挥手，“告诉他，这是国家重大专项的配套课题，耽误不得。”

  而在城市另一端的未来科技联合创新基地，灯火通明的会议室里正在举行一场跨越五地的视频协调会。

  林薇坐在主屏幕前，左侧分屏显示北京总部的张京京团队，右侧是合城的李卫国、王振华等教授，还有上海、深圳、西安三个研发中心的负责人。屏幕下方滚动著实时更新的技术参数和问题清单。

  “各位老师，截至今晚十一点，无尘岛先导实验线的设计已经完成73%。”林薇调出进度图，“但剩下的都是硬骨头。其中最关键的三个瓶颈是：晶圆盒动態洁净维持系统、工艺舱快速对接技术、以及全系统的控制与调度算法。”

  她放大第一个瓶颈：“动態洁净维持，李老师团队已经拿出了密封接口方案，模擬结果满足要求。但盒內环境的快速恢復能力，即晶圆盒在工艺舱內打开、完成工艺、再关闭密封后，如何在30秒內將內部粒子浓度从工艺状態恢復到class 0.1，这个问题还没解决。”

  上海研发中心的负责人举手：“我们做了仿真，发现主要瓶颈在於粒子沉降速度。在密闭的小空间里，0.01微米的布朗运动效应显著，自然沉降需要几分钟。必须增加主动净化措施。”

  “我们试了微型离子风机，但会產生臭氧，对晶片有害。”深圳团队补充。

  “用静电吸附呢？”李卫国在合城那边提出，“在晶圆盒內壁布置纳米结构的驻极体材料，產生静电场吸附粒子。徐文渊院士的那种纳米纤维材料，表面可以改性，增加静电驻极效果。”

  “但吸附饱和后需要再生，这又涉及复杂的维护周期。”西安团队质疑。

  討论陷入僵局。这是一个典型的工程悖论：要小巧轻便，就不能复杂；要高效净化，就需要能量和介质；要避免二次污染，就得增加隔离措施。

  林薇看著爭论的各方，突然想起什么：“等等。我们是不是一直在思考『如何去除粒子』？但如果换一个思路：如何让粒子不產生？或者即使產生了，也不让它落到晶圆上？”

  “什么意思？”张京京在北京问。

  “工艺舱內部。”林薇调出工艺舱的设计图，“晶圆盒在工艺舱內打开时，晶圆暴露在舱內环境中。如果我们能保证舱內环境本身就是class 0.1甚至更高，那么盒內的净化压力就小得多。舱內净化可以做得更强大，因为空间相对大，而且不需要移动。”

  “但不同工艺要求的环境不同。”王振华指出，“氧化需要高温氧气，刻蚀需要等离子体，这些过程本身就会產生粒子。”

  “那就分而治之。”林薇的思路越来越清晰，“把工艺舱设计成双层结构：內层是真正的工艺腔，允许產生粒子；外层是过渡洁净区，始终保持超高洁净度。晶圆在內层完成工艺后，先在外层进行表面吹扫净化，再回到晶圆盒內。这样，晶圆盒只需要维持从工艺舱到传输管道的短途洁净。”