第224章 良率首次突破40%

  第一天，系统部署

  六块大屏幕实时显示著“洁净室数字孪生系统”的运行状態：左侧是三维流场预测图，红黄绿三色区域不断变化；中间是晶圆传输路径的实时监控，十二个关键节点闪烁著小芯ai的风险评估標籤；右侧则是系统日誌，一行行文字快速滚动。

  张京京站在控制台前，眼睛布满血丝，却闪著光。他手里握著最新一批晶圆的流片计划表，这是系统上线后的第一份生產计划，经过了ai的严格风险评估。

  “首批二十四片，分为三组。”他对著通讯器说，声音在寂静的控制室里格外清晰，“第一组八片，安排在上午九点到十一点，这是传统的高风险时段，我们要测试系统在最恶劣条件下的防护能力；第二组八片，安排在下午两点到四点，同样是高风险时段；第三组八片，安排在晚上十点到凌晨两点，这是传统意义上的低风险时段，作为对照组。”

  林薇的声音从扬声器传来：“系统预测显示，今天上午九点二十三分，3號刻蚀机上方会形成粒子驻留区，持续时间约十八分钟。我们建议第一组晶圆在九点四十分之后再进入该区域，或者开启主动防护。”

  “选择开启主动防护。”张京京做出决定，“我们要测试系统在污染高峰期的真实拦截能力。”

  “明白。启动3號区域微型过滤阵列，功率调至70%；调整天花板c区气流角度，形成向下气幕；同时建议將晶圆传输速度降低15%，减少扰动。”林薇快速下达指令。

  屏幕上，代表防护措施的图標一个个亮起绿色。监控数据显示，3號区域的实时粒子浓度开始下降，从每立方厘米82个降到31个。

  上午九点二十三分，预测的粒子聚集准时出现，但在多重防护下，经过该区域的晶圆表面监测到的粒子沉积数，比未防护的歷史同期降低了73%。

  第一组晶圆顺利通过所有关键工序。

  第三天，初步数据

  下午两点，中央研究院的数据分析中心，三十多位工程师围在大屏前。

  屏幕上显示著系统上线前三天的流片数据对比：

  系统上线前（最后一周平均值）

  每日流片量：24片