第366章 四重曝光！这不符合物理
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  看了一会后，王建平痴迷地站了起来，心情有些激动地问著那位戴著国家基金徽章的工作人员。
  “这台设备，多重曝光做了几遍？”
  那个人看了他一眼，然后笑了出来:“王总，你一眼就看得出来了。
  四重！”
  四重曝光，对乾式193nm光刻机来说这是一个非常极限的工艺，已经是量產的极限……
  至於实验室的六重曝光没有任何意义，良品率將会低到不具备生產意义的程度。
  那纯粹是为了突破而突破！
  而王建平则是惊讶地待在了那里，作为一个专业人士，不太清楚答案代表什么。
  虽然四重曝光没有六重极限，但同样也是极限生產下的低良品率，哪怕工艺完善，最高也就是70%左右。
  “四重？193nm，四重曝光做14nm套壳精度多少，你们太疯狂了。”
  “叠加误差程度控制在2nm以內！”
  王建平再一次瞪大了双眼，然后便紧紧地皱上了眉头。
  “2nm，193的波长，四重曝光能做到2nm，你们把牛顿给挖出来了？”
  毕竟以他的专业知识来看，这简直不符合物理规律。
  很快他又想到了一个思路，然后他紧紧地抓住了那位工作人员:“你们用的什么对准方案？”