第443章 1.5微米缝合怪光刻机甦醒
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  停下来的时候,几乎没有惯性余震。
  江俊带著团队,將那台cq-1型双频氦氖雷射干涉仪掛到碳纤维工作檯侧面。
  红光一闪。
  一束细得几乎看不见的雷射穿过导轨。
  电子探测器上的数字死死咬住。
  15纳米位移解析度。
  接著,东都单晶硅厂送来的9n级高纯度硅片,从充氮密封盒里取了出来。
  十亿个硅原子里,只允许混进一个杂质。
  长安771所刚调校完的离子注入机,也送进了车间。
  慢是慢。
  但刚好卡在1.5微米工艺门槛线上。
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  还有红星特製飞轮发电机组。
  稳压精度万分之一,纹波几乎被压到零。
  一件件设备,就像臟器一样,被填进这具钢铁躯壳。