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第443章 1.5微米缝合怪光刻机甦醒

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  停下来的时候,几乎没有惯性余震。

  江俊带著团队,將那台cq-1型双频氦氖雷射干涉仪掛到碳纤维工作檯侧面。

  红光一闪。

  一束细得几乎看不见的雷射穿过导轨。

  电子探测器上的数字死死咬住。

  15纳米位移解析度。

  接著,东都单晶硅厂送来的9n级高纯度硅片,从充氮密封盒里取了出来。

  十亿个硅原子里,只允许混进一个杂质。

  长安771所刚调校完的离子注入机,也送进了车间。

  慢是慢。

  但刚好卡在1.5微米工艺门槛线上。

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  还有红星特製飞轮发电机组。

  稳压精度万分之一,纹波几乎被压到零。

  一件件设备,就像臟器一样,被填进这具钢铁躯壳。