第428章 EUV技术
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  提到euv技术，岩本俊德的脸色瞬间阴沉下来，像是被揭开了陈年伤疤。
  他靠在椅背上，自嘲地笑了笑。
  “euv啊，那是个烧钱的无底洞。九十年代末，英特尔牵头成立了euv-llc联盟，集合了摩托罗拉、amd这些花旗国巨头。当时佳能主动请缨，想加入技术研发。结果呢？”
  岩本俊德摊开手，语气里透著一股子怨气。
  “花旗国政府以国家安全为由，把我们挡在大门外。最后反倒是阿斯麦这个欧罗巴公司捡了便宜，拿到了全套技术授权。听说他们的原型机已经快捣鼓出来了。”
  森田弘一对此却嗤之以鼻。
  “那台原型机我也略知一二。说它是光刻机，不如说是个昂贵的实验室摆件。”
  “euv的波长对任何物质都是灾难，哪怕是空气都会吸收能量。光源效率低得令人髮指，曝光一片晶圆的时间居然要按『天』来计算。”
  他越说越激动，甚至带上了一点技术专家的傲慢。
  “还有掩模版的问题，euv会放大任何微小的瑕疵。一颗灰尘就能毁掉整个晶圆的良率。”
  “在我看来，这些工程难题十年內都无解。”
  “与其赌一个虚无縹緲的未来，不如继续深耕duv光源。只要把数值孔径和多重曝光做到极致，十纳米製程也不是没有可能。”
  岩本俊德深以为然。
  euv系统太复杂了，真空环境、反射镜组、高功率雷射，每一个环节都是在挑战物理极限。
  短期內，它不具备商业化的价值。