第222章 悬浮粒子问题卡住三周

  张京京站在洁净室更衣室的观察窗前，看著工程师们像往常一样进行繁琐的穿戴程序：无尘服、头罩、手套、靴套，经过风淋室三百六十度吹淋。流程完美无缺，监控数据全部绿色。但当他走进中央控制室，看到昨夜流片的最新检测报告时，眉头拧成了死结。

  “第三批次，二十四片晶圆，图形转移合格率百分之九十五，薄膜均匀性合格率百分之九十二，但最终电性测试良率……”他停顿了一下，“百分之三十七点二，比上周还下降了零点八个百分点。”

  “这不可能。”负责薄膜沉积的金秉洙博士抢过报告，“我亲自调整了反应腔的温度梯度，薄膜厚度均匀性標准差从百分之二降到了百分之一点五，理论上应该提升良率至少一个百分点。”

  “但隨机缺陷增加了。”梁志远调出失效分析数据，“二十四片晶圆中，有九片出现了无法归因的隨机开路和短路。位置隨机，尺寸在0.05到0.1微米之间，正好是现有粒子监测系统的盲区。”

  空气凝固了。所有人都明白这意味著什么：敌人就在那里，但他们看不见。

  赵静团队从华科院借来的高精度粒子图像测速系统还在安装调试，至少需要两天才能开始数据採集。而在这之前，他们只能盲打。

  “从今天起，所有进入关键工序的晶圆增加预检测。”张京京重复陈醒的命令，“用现有检测设备的极限模式，灵敏度调到最高，哪怕误报率增加百分之五十。”

  “这样產能会降到正常的三分之一。”生產线主管提醒。

  “执行。”张京京没有犹豫。

  第3天，倒计时125天09小时

  高精度监测系统终於开始採集数据。当第一组实时流场图像出现在屏幕上时，控制室里响起了倒吸冷气的声音。

  在传统监测仪显示“洁净度class 1（每立方米0.1微米粒子数少於10个）”的区域，新系统捕捉到了令人心惊的画面：数以千计的0.05-0.1微米粒子像幽灵般悬浮，它们並非均匀分布，而是聚集在某些特定区域，机械臂关节附近、设备散热口上方、甚至人员走动產生的气流涡旋中心。

  “这些粒子的来源是什么？”张京京问。

  “初步分析有三种。”材料分析工程师快速匯报，“第一类，设备磨损產生的金属碎屑，主要来自传送机械臂的轴承；第二类，人体皮屑和纤维，虽然穿著无尘服，但微观尺度仍有逸出；第三类……环境本底粒子，可能来自空调系统的深层滤网，或者建筑材料本身的缓慢释放。”

  最麻烦的是第三类。如果粒子来自建筑结构本身，那么除非拆掉重建，否则无法根除。