第216章 试產线出现铜污染隱患
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  “漂洗十分钟，完成。硅片传送至乾燥区。”
  机械臂平稳地將硅片送出，送入氮气乾燥舱。整个过程看起来无懈可击。
  “取样检测。”张京京下令。
  三片硅片中的一片被送入旁边的快速分析室。三十秒后，初步结果在大屏上弹出：
  **表面金属污染扫描结果**
  - **铁：＜0.01ppt**
  - **镍：＜0.01ppt**
  - **铜：0.09ppt**
  “低於0.1ppt！”控制室里爆发出压抑的欢呼。这个数值意味著硅片表面的铜污染已经控制在工艺允许范围內，可以进行后续的氧化、光刻等工序了。
  张京京紧绷的肩膀终於放鬆下来。他拿起加密电话，准备向陈醒和林薇报喜。
  但就在他的手指即將触到拨號键时，刺耳的警报声突然撕裂了控制室的平静。
  不是一声，是接连三声。
  “警报！超纯水储罐b-3铜离子浓度异常！”
  “警报！主循环泵出口监测点铜离子浓度超標！”
  “警报！硅片清洗槽回流管检测到脉衝式污染峰值！”