第56章 中芯国际的惊叹！流片成功！

这一刻，宏观的几何设计，被神圣的光束，印刻在了微观的硅原子宇宙之中！

“第四步，显影与刻蚀（development & etching）。”

显影液洗去了那些曝光过的光刻胶，露出了下面的二氧化硅层。

紧接着，等离子体刻蚀机登场。

高能离子气体如同微观世界里最锋利的切割机，顺着光刻胶留下的“模板”，将暴露在外的二氧化硅狠狠地剥离，露出底层的纯硅。

至此，微观城市的“沟渠”被挖掘出来。

“第五步，离子注入与扩散（ion implantation & diffusion）。”

仅仅有沟渠是不够的，硅本身是半导体，需要加入杂质才能导电。

离子注入机以极高的能量，将硼（b）或者磷（p）离子像子弹一样轰击进硅晶格内部。

随后，晶圆再次进入高温炉进行退火（annealing），让这些外来的离子在硅原子之间扩散并稳定下来，从而形成了pn结——这便是构成所有现代电子设备基础的晶体管。

这五步，仅仅只是制造一层电路。

而汇智科技的这款芯片，拥有复杂的金属走线和多个互连层。

这就意味着，还需要进行“薄膜沉积（cvd/pvd）”，在表面铺上多晶硅或者金属（如铝或铜）；

进行“化学机械抛光（cmp）”，将凹凸不平的表面磨得比镜子还要平滑……

然后，清洗，涂胶，再次光刻，再次刻蚀，再次注入……

这个过程，像是一个西西弗斯式的循环。

在这个循环中，晶圆要在不同楼层、数百台动辄几千万美元的精密设备之间穿梭流转数十次甚至上百次。

整个制造周期，短则三四周，长则两三个月。

任何一个环节的温度偏差了零点几度，任何一次刻蚀的时间多了一秒钟，任何一台机器的对准精度差了几纳米，

这340万的投入，连同汇智科技所有人的希望，就会化为一堆毫无用处的电子垃圾。

时间，在等待中变得无比煎熬。

在接下来的几个星期里，沈枫回到了江淮市，但是却随时关注魔都这边的进度报告。

而唐鑫更是陷入了魔怔。

他每天要在中芯国际的接待室里坐上十几个小时，死死盯着工艺工程师发出来的每一个生产节点的参数报告（log）。

当看到某个掺杂浓度稍微偏离了理论中值，他会紧张得连饭都吃不下；

当看到某一层金属走线完美通过检查，他又能高兴得像个拿到糖果的孩子。

流片，就是对芯片设计师灵魂与肉体的双重凌迟。

整整四十天后。

魔都的三月已经透出了一丝春暖花开的气息。

一个略显疲惫但难掩激动的声音，通过中芯国际内线的电话，打到了唐鑫所在的休息室。

“唐博士……批次号为hz-001的晶圆，已经完成了最后一步的钝化层制造，顺利下线了。”

赵伟明的声音从听筒里传来。

唐鑫猛地站了起来，碰翻了桌上的咖啡杯，滚烫的咖啡溅在裤腿上他都浑然不觉。

“走！去测试车间！”他一把抓起外套，大步流星地向外走去。

真正的考验，才刚刚开始。

造出来不等于成功，只有能够通电、能够实现设计功能的芯片，才是真正的芯片。

在晶圆测试（cp test, chip probing）车间外，隔着厚厚的玻璃，唐鑫看着那一片在灯光下闪烁着彩虹般迷人光泽的十二英寸硅片，被机械臂小心翼翼地放置在测试机台上。

测试机台上方，带有成百上千根极细探针的探针卡（probe card）缓缓降落，精准地扎在了晶圆上其中一颗裸片（die）的测试触点上。

电流输入。

测试程序启动。

玻璃窗外，所有人都屏住了呼吸，死死盯着旁边的显示器。

“滴——”

一声清脆的电子蜂鸣音在静谧的测试室里响起。

屏幕上的绿色进度条瞬间拉满，各项关键电压、电流响应曲线如同完美的艺术品一般在屏幕上展开，

所有的输出波形，与唐鑫几个月前在实验室里模拟的数据，达到了惊人的99.9%的吻合！

“pass（通过）！”测试工程师转过头，对着玻璃窗外的众人，竖起了大拇指。

紧接着，探针卡迅速移动，测试下一颗裸片。

“pass！”

“pass！”

“pass！”

连串的绿灯在屏幕上疯狂闪烁，最终的良品率（yield rate），竟然在第一次流片时，就达到了惊人的85%以上！

这是一场史无前例的巨大胜利！

“成功了……成功了！！”

唐鑫按捺不住内心的狂喜。

他立刻隔着玻璃，看着那片流光溢彩的晶圆，紧绷了几个月的神经，终于在这一刻彻底放松下来。

他知道，这不仅代表着340万没有打水漂。

这更意味着，在2017年的春天，一颗完全由龙国企业自主研发、性能足以碾压同时代全球所有对手的超级快充ic芯片，正式降临在这个世界上。

他立刻将这个消息告诉远在江淮市沈枫。

而沈枫在知道后，也是面露喜色。

他知道汇智科技拥有了一张王牌，拥有了这款芯片，他已经不单单是一家低级电子代工厂了。