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第256章 一束光芒照了进来

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东京的四月,樱花已经落尽。

林本坚站在尼康总部大楼门口,抬头看了一眼那面灰白色的建筑,深吸一口气,推门走了进去。

这是他最后一站了。

再不成功他自己也不知道怎么办了。

前台接待早已接到通知,直接带他上了六楼会议室。

门推开,里面坐着三个人:技术本部长、光刻机事业部长,还有一位执行董事。

林本坚没有寒暄,直接打开笔记本电脑,把浸没式光刻的技术方案投在屏幕上。

站起来,拿着激光笔,“各位,我的思路很简单——不追求更短的波长,而是在镜头和晶圆之间加一层水,利用水的折射率,让193纳米的光线等效为134纳米。

通俗点说,就是把光变成更锋利的刻刀,在同样大小的画布上雕出更精密的沟槽。”

他看到众人没有打断他的话,心中一喜。

“干式光刻走到193纳米,路已经快到头了。往下走,要么换更短波长的光源,成本高、难度大。

要么换思路,在水里做文章。水的折射率是1.44,光线经过水,波长自然缩短。不需要搞什么157纳米的新光源,不需要推翻现有的一切,只需要在原方案上加一层水,就能让193纳米的光线直接变成134纳米。”

林本坚对众人鞠躬示意,“这就是我的研究方向,我的解说完毕,谢谢大家。”

技术本部长听完他的方案,嘴角微微上扬,那是带着几分轻慢的笑意。

他开口了,声音不大,但每一个字都沉甸甸的:“加一层水?林先生,你知不知道,镜头的加工精度是纳米级的?一滴水里的杂质、气泡、温度变化,都足以让整块晶圆报废。把水灌进光刻机?你是要让我们把几十年的光学积累全部推翻吗?你这是在侮辱我的智商。”

光刻机事业部长也补了一句话,更直接:“林先生,你的方案我们内部其实早评估讨论过,结论是可行性几乎为零,这个世上不是就你一个聪明人。”

林本坚还想解释什么,技术本部长已经抬起手,做了个制止的手势:“林先生,你不必再说了。你的好意我们心领了。但尼康的技术路线,不需要外人来指点。我们有自己的研发方向,已经投入了数亿美元。在这个节骨眼上,不可能因为你一个想法就全盘推翻。”

从进门到被请出会议室,不过二十分钟。林本坚站起来,把笔记本电脑合上,没有再多说一句话。

执行董事送他到电梯口,脸上挂着礼节性的笑容,语气却是冰冷而傲慢的:“林先生,你的技术理念,我们听过了。但尼康有自己的技术路线。你的东西,我们用不上。希望你以后不要再上门拜访了,我们没有这么多时间陪你过家家,我会和台积电打招呼的。”

电梯门合上的那一刻,执行董事的声音从门缝里挤了进来,轻飘飘的,像是在嘲讽:“对了,如果你真想搞这套技术,也许有一个人能帮你实现。听说过熊猫集团吗?中国人,我们刚刚永久授权给他们一项浸没式光刻的基础专利。那个人姓李,叫李兵。你可以去找他碰碰运气。”

又似乎想起了什么,“对了,他挺有钱的,说不定你们还真有可能搞得定。”说完自己都忍不住哈哈大笑起来。

林本坚站在台阶上,满脸通红,又气愤又无奈。气愤的是他们竟然这样羞辱他,无奈的是他四处碰壁,他认为最有可能理解他的公司竟然这样对待他。

他抬头看着东京灰蒙蒙的天。熊猫集团,李兵,一个中国人,他不知道那是个什么样的人,但在他走投无路的时候,哪怕听到一丝微弱的可能性,都是一道光。

他给在台湾的同事打了个电话:“帮我查一个人。熊猫集团,李兵,大陆的。”他不知道的是,正是尼康的傲慢,把他送到了李兵面前。他也不知道能不能说服对方。

……

一星期后。

林本坚看着一大堆资料。